1．理想的なテープ剥離を実現

BG用表面保護テープをウェハから180°の角度で剥離するピール方式の採用により、ウェハにかかるストレスを最小限に抑えることが可能です。

2．UVの照度、光量を自動コントロール

内蔵センサーによりUVの照度、光量を一定に保つようフィードバック制御することにより、UV硬化型BG用表面保護テープを使用した際にも、安定したテープ剥離が可能です。