多彩な装置をご用意しています。
UV照射装置
（300mmセミオートUV照射装置）
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1．300mmセミオートUV照射装置の当社従来機との比較
- フットプリントを約16.5％縮小
- 操作パネルを左側へ集約し、オペレーションの操作性を向上
- タッチパネル設置角度(45°)における視認性を向上（SEMI規格準拠）
- 150mmウェハ用リングフレーム2枚同時照射可能（オプション）
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2．高精度な定照度点灯を実現
高周波インバーターを使用した矩形波点灯なので、高精度かつ安定したUV照射を実現し、照度と光量を最適化します。
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3．フィードバック制御による照度の自動コントロール
内蔵センサーにより、UV光出力を一定に保つようフィードバック制御を行います。これによりランプ寿命まで照度を一定に保つことができ、半導体生産の定量化に貢献します。
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4．ボタンひとつで簡単操作
センターローディング方式を採用することにより、操作性と安定性がさらにアップ。作業効率も一層高まります。
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5．スピーディーな全面均一照射
窒素が充填されたチャンバーの移動により、全面均一照射を確実に行います。また、ウェハの大きさや種類などの諸条件に応じて、照射スピードを自由に調節することができます。
