装置 Equipment

多彩な装置をご用意しています。

UV照射装置 RAD-2000F/8 (200mmフルオートUV照射装置)

RAD-2000F/8
  1. 1.工程を迅速化するフルオート

    ローダ&アンローダを一体化したフルオートシステムが、作業効率をアップしました。

  2. 2.照度・光量のコントロール自在

    高出力UVランプを使用。照度・光量の調節も自在なので効率的に照射できます。

  3. 3.全面をムラなく、均一に照射

    移動しながら照射する方式を採用。全面均一照射を実現しました。

  4. 4.品質を守る自己チェック機能

    自己チェック機能を内蔵しているため、より確実な照射が可能です。

オプション

  • ホストコミュニケーション機能
    通信方式:SECS-I、HSMS準拠、
    ソフト:GEM準拠

対応テープ

カタログPDFダウンロード

半導体関連製品に関するご質問やお見積りなど、お気軽にお問い合わせください。