1．高スループット

各搬送部の最適化により、高スループットを実現しました。
※従来機と比べ、約20％増（8inchウェハでの運転による比較値。実際のスループットは貼り付け・剥離条件により異なります）

2．テープの消費量低減

ダイシングテープインラインプリカット機能を搭載し、さらにテープギャップを短縮することでテープの消費量低減が可能です。
※テープギャップ比較（インラインプリカット方式） ：従来機約10㎜　→　本装置約2㎜

3．薄型ウェハ/反りにも対応

50µm厚ウェハに対応可能です。また、マウントテーブル部に反り矯正機構を追加し最大5mmまでの反りウェハに対応可能です。
※回路面を上にして≦5mm、回路面を下にして≦3mmの反りに対応可能
※8inchウェハ使用時

4．ビジョンシステム搭載時の省フットプリント

ビジョンシステムは機内に設置となり、搭載時のフットプリントは従来機と比較して、約25％削減可能です。

5．ESD性能向上

ウェハ及びウェハが接触する部分の帯電量を動作後10秒以内に±100V未満を達成可能です。
さらにオプションを選択することで動作直後±50V未満を達成可能です。
※当社測定方法による