多彩な装置をご用意しています。
ウェハマウンター
（300㎜セミオート真空マウンター）
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1．中空テーブル方式
中空テーブル方式採用により、パターン面の非接触を実現しました。
※ウェハパターン面の接触は外周3㎜のみ -
2．真空マウント方式
独自の差圧制御方式により、優れた段差追従性を得られます。
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3．テーブルヒーター
貼付済みウェハとダイシングテープをテーブルヒーターで加熱することにより、貼付品質が向上します。
※最大温度：60度
オプション
- 外部ヒーターテーブル
