ベストセラー機種の「RAD-3510F/12」の機能を拡充し、高性能・省スペース化を実現。
- 1. ダブルロードポート標準搭載
- 2. FOUPオープナー/ウェハマッピング機能標準搭載
- 3. 装置の専有面積を約30%縮小
- 4. 70枚/hの高い生産能力を実現
さらに、高速仕様オプションで最大100枚/ｈを実現 - 5. テープ1巻当たりのウェハ処理枚数を最大16％向上
※テープが100m巻き、ウェハサイズが300mm(12インチ)径の場合 - 6. 多彩なオプション機能を搭載可能
ESD対策、各種クリーニング機能、自動カッター交換など - 7. CE/KCマーキング、SEMI S2/S8準拠
