1．コンパクトで高スループット

ローダ&アンローダを一体型した300mm、200mmウェハ対応マシン。一体型によるマシンサイズのコンパクト化と、2系統のワークパスラインによる高スループット化を実現しました。

2．ハイクオリティー&ハイパフォーマンス

UV硬化型ダイシングテープのリーディングカンパニーが開発した高性能マシンです。高出力UVランプによる照度と光量の最適化、ウェハ処理ごとの光量チェック、酸素阻害を防ぐ環境でのUV照射などの機能＊により、テープの機能をフルに発揮します。
＊UV硬化を阻害する酸素を排除するため、ウェハチャンバーに窒素を充填し、UV照射します。

3．快適オペレーション&セーフティー

使いやすさを高める大型タッチパネルを採用。マシンの操作と整備の安全性は、SEMI安全性ガイドラインに基づき、設計と組立段階から充実を図りました。
CEマーキング対応

4．アセンブリー工程のFA化

ホストコミュニケーション機能、さらにインラインシステムを組み込むことにより、トータル的なプロセスのFA(Factory Automation)化を実現します。