多彩な装置をご用意しています。
LCテープラミネーター (300mmフルオートLCテープラミネーター)
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1.LCテープ専用ラミネーター
フリップチップ実装用のチップ裏面保護テープ「LCテープ」の特性に合わせ、システムの最適化を実現しました。
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2.高精度なテープラミネートを実現
独自開発の貼付機構により、ボイドの混入などがない高品質なテープラミネートを実現します。
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3.LCテープのインラインプリカット機構を採用
LCテープの外周カットは、インラインプリカット機構を採用することで、研削済みウェハのエッジ部へのカッター接触ダメージがありません。
オプション
- ホストコミュニケーション機能
通信方式:SECS-I、HSMS準拠、
ソフト:GEM準拠 - ダブルカセット供給
- ウェハIDリーダー