装置 Equipment

多彩な装置をご用意しています。

LCテープラミネーター RAD-3600F/12 (300mmフルオートLCテープラミネーター)

RAD-3600F/12
  1. 1.LCテープ専用ラミネーター

    フリップチップ実装用のチップ裏面保護テープ「LCテープ」の特性に合わせ、システムの最適化を実現しました。

  2. 2.高精度なテープラミネートを実現

    独自開発の貼付機構により、ボイドの混入などがない高品質なテープラミネートを実現します。

  3. 3.LCテープのインラインプリカット機構を採用

    LCテープの外周カットは、インラインプリカット機構を採用することで、研削済みウェハのエッジ部へのカッター接触ダメージがありません。

オプション

  • ホストコミュニケーション機能
    通信方式:SECS-I、HSMS準拠、
    ソフト:GEM準拠
  • ダブルカセット供給
  • ウェハIDリーダー

対応テープ

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