多彩な装置をご用意しています。
ウェハマウンター (300㎜フルオートリマウンター)
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1.同一テーブルでのウェハリマウント
ウェハにマウントされていたテープをカットした後、同一テーブル上で新しいテープを貼付することが可能。また、テープカット~リマウントの間にテーブルの吸着を解除することが無いため、ウェハ破損のリスクが低減され、薄型ウェハ(30μm以上)の対応が可能です。
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2.6軸ロボットテープカット
カット半径、カット速度、カット深さ、カット角度、カッターヒーター(90℃対応)を自由に調整することによって、最適なテープカットが可能です。
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3.様々なリマウント方式に対応可能
【標準仕様】12inchフレーム→12inchフレーム、
【オプション仕様】8inchフレーム→8inchフレーム、8inchフレーム→12inchフレーム -
4.ダブルロードポート標準搭載
ワークの供給/収納で別々のロードポートを使用可能です。
オプション
- ホストコミュニケーション機能
通信方式:SECS-I、HSMS準拠、
ソフト:GEM準拠 - ダイシングテープ
インラインプリカット - ビジョンシステム
(ウェハIDリーダー&バーコード貼付システム)