研磨用表面保护胶带 （非紫外线硬化型研磨用保护胶带）

1. 1. 可在背面研磨时为晶圆正面提供可靠保护，防止研磨水或残渣侵入污染晶圆正面。
2. 2. 胶带剥离后没有粘性层残留。
3. 3. 由于晶圆表面的图形造成胶残留的情况，我们也有适用于纯水清洗的胶带类型推出。另外，由于粘胶层中不含水溶性的低分子量成分，可以用纯水去除, 所以不用担心清洗液造成的二次污染
4. 4. 胶带具有良好的厚度均一性，可以保持背面研磨后的晶圆厚度精度。