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晶圆贴合机 (300mm全自动多功能晶圆贴合机)
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1.适用于超薄晶圆
本多功能晶圆贴合机采用单机系统,最适用于超薄晶圆制造。背面研磨工艺完成后,晶圆的紫外线照射、校准、贴合到切割环、研磨用表面保护胶带撕膜均可以由1台设备完成。
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2.实现最少的晶圆传输次数
晶圆单体的传输次数,单机系统可减少至4次,与晶圆背面研磨机联机生产时可减少至2次。因此,可以在最大限度上控制对晶圆的损伤。
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3.高产能
通过优化各传输组件实现高产能。
※与以往机型相比,约增加60%(以300mm原始晶圆运行时的对比值。实际产能因粘贴、剥离条件而异) -
4.占地面积小
设备尺寸为2,165mm(W)×3,090mm(D)×1,800mm(H)(突起物及三色警示灯除外),实现了非常紧凑的设备设计。
※与以往机型相比,设备尺寸约缩小30% -
5.适用于切割胶带的联机预切割(选配)
使用非预切割胶带时,可以另行安装可以避免损伤晶圆环的、在设备内部切割胶带的、独特的联机预切割机构。
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6.剥离胶带贴合方式可兼用热封胶带、粘着胶带
根据所使用的研磨用表面保护胶带的物性等条件,研磨用表面保护胶带剥离机构也可以兼用热封胶带方式、粘着胶带方式(选配)。
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7.适用于DBG工艺(选配)
除了300mm/200mm晶圆的一般晶圆环贴合、表面保护胶带剥离工艺,也适用于新一代理想的薄型晶片制造的DBG工艺。
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8.可以实现与DISCO公司生产的“DFG8000系列”、“DGP8000系列”的联机生产(选配)
与DISCO公司生产的研磨机“DFG8000系列”或研磨机/抛光机“DGP8000系列”组合,可以打造大幅度减少超薄晶圆传输时的破损风险的联机系统。当然也可以由此实现DBG工艺的联机化。
选配功能
- 主机通信功能
通信方式:SECS-I、HSMS标准;软件:GEM标准 - 视觉系统
- 切割胶带
预切割/预切割系统 - 适用于DBG工艺
- DISCO公司生产的“DFG8000系列”